Pierwszy tranzystor, ostrzowy (o małych możliwościach zastosowań praktycznych), zbudowali w 1948 J. Bardeen i W.H. Brattain. Tranzystor bipolarny skonstruował w 1949 W.B. Shockley.

Wynalezienie tranzystora uważane jest za początek rewolucji elektronicznej XX w. Opracowanie w latach 60. metody fotograficznego maskowania i warstwowego trawienia, umożliwiającej miniaturyzację tranzystora, spowodowało znaczne potanienie produkcji i w konsekwencji masowe wytwarzanie tranzystorów oraz, zawierających ich setki, tysiące, a nawet miliony, układów scalonych.